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讓測量更加精準(zhǔn)和簡單

0512-65733433
產(chǎn)品專區(qū)

輪廓度儀

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Mahr輪廓度儀CX2

德國原裝工控機(jī)及Marwin輪廓操作評價軟件
·CD120驅(qū)動器及測針系統(tǒng)
·ST500立柱
·X/Y二維微調(diào)工作臺
·大理石工作臺面
·MCP23控制面板
·磁吸測針系統(tǒng),方便裝夾,且可以實現(xiàn)防撞保護(hù)

產(chǎn)品內(nèi)容

20200520-002.png測量原理 測針接觸式
測量長度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測量范圍 Z 方向 50mm適用于350mm測臂;25mm適用于175mm測臂
測量系統(tǒng)(Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z 方向) 0.19 um /175mm測臂
系統(tǒng)分辨率(Z方向) 0.04 um
直線度誤差(X方向): < 1um/120mm
X/Z方向定位精度 1 um
測力 1mN to 120mN
測量角度 下降角度到880, 上升角度為770
測量速度(X方向) 0.2mm/s...4mm/s
接觸速度(Z方向) 0.1mm/s to 1 mm/s
定位及返回速度(X方向) 0.2 mm/s 至 8 mm/s
定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s
驅(qū)動器可調(diào)角度 +/-45°
測臂長度 175 mm;350 mm
測針針尖半徑 25 um
角度測量誤差 U95<3.0min
半徑測量誤差 U95=±5 um R10mm-100mm
                      U95=±7um R100mm-1000mm
距離測量誤差 ±(2+l/50)um

XC20工作站.png

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